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年产750吨半导体硅材料
作者: 日期:07-12-11

类别:2工业科学

编号:20071016

 
项目名称:年产750吨半导体硅材料
项目单位:林州市中升半导体硅材料有限公司
 
项目简介:

    多晶硅是集冶金、化工、自动控制、电子学以及环保工程等学科为一体的工业化产业。多晶硅材料是硅产品产业链中一个极其重要的中间产品。它是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料,也是发展信息产业和新能源产业的重要基石。

    目前,采用直径6毫米的硅芯,生产1炉直径120毫米的多晶硅,一般要用320小时左右,如果提高还原系统的压力,可以加快反应速度。我们知道,任何化学反应,压力越高,反应速度越快,高炉的高压炉顶就是这一原理的体现。经验证明,在多晶硅还原炉中,压力提高0.1兆帕,多晶硅的生长速度可以加快0.1毫米(晶体半径)左右。但压力的提高,必须建立在系统的耐压性和密封性十分可靠的基础上。因为我们使用的是氢气和三氯氢硅,都是易燃易爆有毒化学品,而且是在1200℃的高温下进行的,一旦系统泄露,将会发生重大事故。因此在采取这一技术时,必须周密考虑,在设备的耐压性方面和系统的加压范围方面,采取特殊措施。国外在这方面比我们发展快,先进国家(如德国)的多晶还原炉采用高压操作,耗电比我们少,还原速度比我们快
 

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